某半导体洁净厂房空调系统的设计——以上海某半导体洁净厂房改扩建项目为例

文章作者：邓琳 期刊页码：2023年17期174页

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【摘要】本文以上海某半导体洁净厂房改扩建项目的洁净空调系统设计为例，针对本项目的空调冷热源和空调末端新风空调机组MAU+ 风机过滤单元FFU+ 干盘管DCC 设计计算过程及空调系统自动控制原理进行逐项分析和总结，阐述此类型净化空调系统的各类设备的选型计算设计方法，并特别针对设计过程中的冷冻水供回水温度、干盘管中温水供回水温度选择、各房间干盘管最大送风温差的选择及干盘管和循环机组的所造成的送风温差的计算等细节和重要的相关参数的取值进行具体详细分析，提供给后续相关设计人员进行类似项目的暖通空调设计项目做设计计算的参考。
【关键词】半导体洁净厂房；净化空调系统；MAU+FFU+DCC；自控系统